檢查用具的自準直儀是綜合了平行光管和望遠鏡性能的獨特裝置，通過(guò)自身發(fā)出的平行光來(lái)檢測反射鏡表面的角位移。自準直儀具備非常突出的光學(xué)性能，通過(guò)光源照明將分劃板投射到無(wú)限遠，并最終接收經(jīng)平面鏡表面反射回來(lái)的分劃板圖像，接收到的反射像經(jīng)物鏡聚焦到電子CCD相機上激光干涉儀也有測量軌跡，直線(xiàn)度的功能，但是由于測量原理的限制，精度只能勉強達到0.01mm。
檢查用具所以安裝導軌，測量孔心同心，等等跟直線(xiàn)度有關(guān)的測量，使用線(xiàn)激光+PSD準直儀，非?？煽?。干涉儀僅僅適用于傳動(dòng)系統的定位精度測量，在直線(xiàn)度，平面度測量方面，要增加很多鏡組，軟件，調光路也很費時(shí)間，得不償失。